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中走丝线切割常见问题解答
- 2019-08-11-

中走丝线切割常见问题解答

中走丝线切割加工中同内圆切割技术相比有其明显的弱点,一是片厚平均误差较大(约为内圆切割技术2倍)。二是切割过程中智能检测控制不易实现。三是切割过程的成功率要求较高,风险大,一但断丝而不可挽救时,直接浪费一根单晶棒。四是不能实现单片质量控制,一次切割完成后,才能检测一批圆片的切割质量,并且圆片之间切割质量也不相同。

1、为什么中走丝线切割用钼丝,而慢走丝用铜丝?

中走丝线切割正常加工的走丝速度为8-12米/秒,线径为0.08-0.20mm,而慢走丝的丝速为1.8-12 米/分钟,常用线径为0.20,0.25mm,并且要配相应导丝器。钼丝的强度和韧性都比较好,不易断丝;我国钨钼材料丰富,因此价格也低廉,广泛用于中走丝线切割。铜丝的导电性好,加工能量损耗也较小,但价格高,慢走丝线切割都采用铜丝,线切割专用铜丝的外层有多层涂复,能提高加工性能。

2、中走丝线切割的钼丝是反复使用的,一般使用多久需要更换?

钼丝的使用寿命与丝的直径,加工效率,工件材料和已加工的面积(平方毫米)有关,如果钼丝直径减小了0.02-0.03mm或者已经加工了4-5万平方毫米,应考虑更换钼丝;也可以按加工时间30-50小时来估计。

中走丝线切割常见问题解答

3、中走丝线切割的常用备件有哪些?

常用备件有导轮、轴承、喷嘴、导丝宝石或瓷柱、弹性圈等,其中导轮和轴承对加工精度有很大影响,需要及时更换。

中走丝线切割技术是硅片切割的主流技术,在规模化晶圆片切割中将取代内圆切割技术。因此人们加大了对200mm以上线切割机的研究,以解决其技术不足。

中走丝线切割机床预验收的目的是为了检查、验证机床能否满足用户的加工质量及生产率,检查供应商提供的资料、备件。其主要工作包括:

(1)检验机床主要零部件是否按合同要求制造。

(2)各机床参数是否达到合同要求。

(3)检验机床几何精度及位置精度是否合格。

(4)机床各动作是否正确。

(5)对合同未要求部分检验,如发现不满意处可向生产厂家提出,以便及时改进。

(6)对试件进行加工,检查是否达到精度要求。

(7)做好预验收记录,包括精度检验及要求改进之处,并由生产厂家签字。



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